插板阀

Science Probe 真空插板阀

插板阀
真空插板阀
半导体行业用
气动/手动插板阀
产品描述：插板阀真空阀真空闸阀 Science Probe 主要设备SputteringDiamond growth by MWPACVDPECVDPVD(Cluster,Roll to Roll)CoatingEtchDiffusionCVD 半导体行业用插板阀台湾Micron UMC AKT HV GATE VALVE 高压闸阀 UHV GATE VALVE 超高压闸阀 SHIELD GAT
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Science Probe手动/气动插板阀

主要针对半导体行业应用，可对应设备

**主要设备**
• Evaporation
• Sputtering
• Diamond growth by MW-PACVD
• PECVD
• PVD(Cluster,Roll to Roll)
• Coating
• Etch
• Diffusion
•CVD

合作：台湾Micron，UMC,AKT等;新加坡Micron,Global Foundries,UMC以及马来西亚的英菲尼亚半导体等;日本Micron和其它的装备，在国内，包括三星半导体在内的设备公司持续交货阶段。

可替代：瑞士VAT、美国HVA，韩国Presys